分解能 対試験距離（L） 1[mm] 2[mm] 3[mm] 出力比 99[%] φ5.3[mm] φ9.3[mm] φ13[mm] 95[%] φ4.2[mm] φ7.0[mm] φ11[mm] 本体のサイズがコンパクトになりました。 260（Ｗ）×110（Ｈ）×230（Ｄ）[mm]
測定距離補正機能を搭載しました。
プローブ対試料間の距離が変動しても感度がほとんど変わりません。